紫外臭氧清洗机 - 深圳市科晶智达科技有限公司

PCE-33 紫外臭氧清洗机

应用范围：PCE-33是一款桌面式紫外（UV）臭氧清洗机，自动开/关样品门，可选加热样品台，可用于清洗各种基片来达到比较好的涂膜/镀膜效果，最大有效清洗面积300×300mm。此款设备特别适合移除基片上的光刻胶，改善润湿性，清洗钙钛矿太阳能电池基片，SEM&TEM样品，UV聚合物改性等。紫外臭氧清洗已被证明了是一种无酸性，干燥且无损伤地原子级别清洗手段，特别适合清除样品表面的有机物。设备上所用紫外灯管主要发出2种波长的紫外光185nm和254nm,其中185nm紫外光可把空气中的氧变为臭氧，254nm紫外光激活基片表面的有机物分子，两者结合可有效清除基片表面有机物。

产品型号：PCE-33

上架时间：2024-07-27

版本号：V1.2

A^-A⁺

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PCE-33是一款桌面式紫外（UV）臭氧清洗机，自动开/关样品门，可选加热样品台，可用于清洗各种基片来达到比较好的涂膜/镀膜效果，最大有效清洗面积300×300mm。此款设备特别适合移除基片上的光刻胶，改善润湿性，清洗钙钛矿太阳能电池基片，SEM&TEM样品，UV聚合物改性等。紫外臭氧清洗已被证明了是一种无酸性，干燥且无损伤地原子级别清洗手段，特别适合清除样品表面的有机物。设备上所用紫外灯管主要发出2种波长的紫外光185nm和254nm,其中185nm紫外光可把空气中的氧变为臭氧，254nm紫外光激活基片表面的有机物分子，两者结合可有效清除基片表面有机物。

功能特点

清洗面积较大，最大达300×300mm；
样品仓门自动开关；
可移除基片表面各种污染物；
样品台可加热，最高温度150℃；
触摸屏控制面板，可设置和现实各种参数。

技术参数
电源	单相AC220V±10%，频率：50Hz/60Hz，功率约950W
UV灯	双波长汞灯
UV灯波长	184.9nm、254nm；（臭氧型双重波峰值）
UV灯使用寿命	5000小时
UV灯罩区域	300mm*350mm
可清洗基片尺寸	MAX 12英寸，厚35mm
时间设置	0.01s-99.9小时
腔体	不锈钢壳体自动滑动抽屉样品仓腔体内安装有臭氧排除装置
加热型样品台	面积L450mm*W450mm 支持最大样品厚度：40mm；加热台最高温度可达150℃，程序控温可设置30段温度段，控温精度±2℃ 最大加热速率：15℃/min 样品台和UV灯关之间的距离可调节：20~40mm 可选加热温度达到300℃，控温精度±0.1mm
排气口	一个直径为75mm的排气口在设备后部配有3米的柔性排气管道
设备应用	清洗Si基片，GaAs基片，石英和ITO玻璃；清洗各种氧化物单晶片，如蓝宝石，STO和LAO；清洗Au和Pt基片；轻金属材料表面氧化；活化聚合物材料；UV去除光刻胶；UV清洗LED显示屏等

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