应用范围: VTC-100PAH 真空旋转涂膜机适用于半导体工艺、晶体、光盘、制版等表面涂膜制备。VTC-100PAH 真空旋转涂膜机是一款高性能精密匀胶机,采用了先进的设计理念,配合精密的运动控制系统,可以实现高精度、高均匀度的匀胶操作。设备腔体采用聚丙烯材质,具有耐热性、电绝缘性、和良好的高耐磨加工性能等特点。本机腔体不可抽真空,工作时利用真空吸盘及气路管线与外部真空泵相连,能很好的将样件牢固的吸附在载样盘上,此方式操作简便、样件取放自如,吸盘真空度可达到﹣0.08MPa。旋转主轴采用高速直流无刷电机,噪音低、振动小、运行更加平稳、可靠性高、适应性强、维修与保养简单,电机启动快速稳定,加速后运行平稳,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。VTC-100PAH 真空旋转涂膜机具有操作简单、清理方便,体积小巧等优点,主要应用于各大专院校、科研院所的实验室中进行薄膜的生成过程。
产品型号:VTC-100PAH
设备尺寸:L250*W340*H320mm
重量:12kg
上架时间:2024-07-17
版本号:V1.0
| 技术参数 | |||
|---|---|---|---|
| 设备供电 | DC24V 标配适配器:IN AC100-240V 50/60Hz OUT DC24V 15A | ||
| 功率 | 300W | ||
| 操作界面 | 7 寸触摸屏 | ||
| 速度范围 | 设定:1500-20000rpm(递增量为:100rpm 为单位) | ||
| 运行程序 | 包含 16 个运行阶段 | ||
| 每段增加速率设置范围 | 100 rpm/s—6000 rpm /s | ||
| 减速停车速率范围 | 100 rpm/s—3000 rpm /s | ||
| 时间范围 |
1-99s(设定速度范围:1500 至 10000rpm); 1-60s(设定速度范围:大于 10000 至 20000rpm) |
||
| 吸盘规格 | 2 英寸, 4 英寸 | ||
| 真空接口 | 快插接头,采用φ8 PU 管连接 | ||
| 重量 | 12kg | ||
| 外形尺寸 | L250*W340*H320mm | ||
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