高真空钙钛矿手套箱蒸镀系统 - 深圳市科晶智达科技有限公司

GSL-1800X-ZF6 高真空钙钛矿手套箱蒸镀系统

应用范围： GSL-1800X-ZF6 高真空钙钛矿手套箱蒸镀系统是一种利用电阻加热使膜材汽化蒸发后凝结在基片上成膜的加热镀膜方法，该方法结构简单、实用，使用可靠，适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等等，可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作，也可用于大批量生产前的试验工作。

该钙钛矿蒸镀系统配备6 组蒸发源，可蒸镀切换最多6 种材料，也可同时共蒸2 种材料如：Cu、Ag、PbI₂、CsBr 等材料；设备可与手套箱对接方便在手套箱中操作，采用前滑动开门结构。该系列设备广泛应用于高校、科研院所的教学、科研实验以及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等。

适用范围：钙钛矿材料、二维材料、光伏太阳能电池的器件制备等。

产品型号：GSL-1800X-ZF6

上架时间：2024-07-17

版本号：V1.0

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       GSL-1800X-ZF6 高真空钙钛矿手套箱蒸镀系统是一种利用电阻加热使膜材汽化蒸发后凝结在基片上成膜的加热镀膜方法，该方法结构简单、实用，使用可靠，适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等等，可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作，也可用于大批量生产前的试验工作。
       该钙钛矿蒸镀系统配备6 组蒸发源，可蒸镀切换最多6 种材料，也可同时共蒸2 种材料如：Cu、Ag、PbI₂、CsBr 等材料；设备可与手套箱对接方便在手套箱中操作，采用前滑动开门结构。该系列设备广泛应用于高校、科研院所的教学、科研实验以及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等。
       适用范围：钙钛矿材料、二维材料、光伏太阳能电池的器件制备等。

功能特点

GSL-1800X-ZF6 高真空钙钛矿手套箱蒸镀系统主要由金属蒸发沉积室，真空排气系统，真空测量系统，有机蒸发源，无机蒸发源，样品台系统，电控系统，配气系统等部分组成
方便操作，制成的薄膜纯度高、质量好，膜厚可以准确的控制，成膜速率快，效率高，用掩膜可以获得清晰的图形，薄膜的生长比较单纯
恢复工作真空快，大气至5×10^-4Pa≤15 分钟

技术参数
真空部分	1、真空系统：采用中科科仪脂润滑分子泵FF-200/1300 口径，抽速：1300 L/S+飞跃VRD-16 机械泵真空系统，8 寸气动挡板阀，真空测量：一个一低一高真空计（量程从大气到3E-9torr），自动控制切换低真空、高真空测量；真空读数输入PLC，用于工艺控制；真空阀门：型号：DN40mm 挡板阀2 套；气动主阀中科科仪DN200 1 套；真空密封：可拆静密封采用氟橡胶圈密封；不常拆静密封采用无氧铜密封。 2、真空极限：优于2.0×10^-5Pa；漏率：优于5×10^-8Pa*L/S（国家标准）；关机12 小时后，真空度≤5Pa；（手套箱干燥氮气环境） 3、抽速：抽气时间：大气压~5×10^-4Pa 小于20min；（手套箱干燥氮气环境）
样品台	1、抽屉式结构，承载最大150*150mm 样品，配气动基片挡板。 2、基片与蒸发源距离电动可调，电动升降调节最大距离60mm 可调。 3、样品台可旋转，带水冷功能：样品台旋转速度，0～30 转／分连续可调。
蒸发源及电源	1、设备配2 组舟式蒸发源，金属源采用水冷铜电极+蒸发舟结构(最高温度1500 度）；配备2.4KW 蒸发电源1 套，蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动驱动模式，二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制，也可以手动控制。蒸发电源还可以通过膜厚仪PID（闭环控制），自动调节蒸发速率。带数显。 2、配备4 套有机蒸发束源炉，4 台20-10 有机蒸发电源，有机蒸发源带温度显示功能，有机束源炉用日本导电温控仪；配套4 组坩埚，加热温度：0-700 摄氏度；角度可调范围：0-15 度
膜厚控制系统	1、电源：DC 5V（±10%），最大电流400mA 2、频率分辨率：±0.03Hz 3、膜厚分辨率：0.0136Å（铝） 4、膜厚准确度：±0.5%，取决于过程条件，特别是传感器的位置，材料应力，温度和密度 5、测量速度：100ms-1s/次，可设置 6、测量范围：500000Å（铝）
手套箱参数	一、箱体 1.一个不锈钢箱体，尺寸为2440mm（长）X780mm（宽）X900mm（高）箱体分两节中间法兰连接，背面预留法兰接口和镀膜机对接（镀膜机有客户提供，法兰口尺寸),材质为SUS304 不锈钢，厚度3mm 2.上掀式可拆卸的安全玻璃视窗，倾斜设计的操作面，钢化玻璃厚度 10mm 3.4 只丁基橡胶手套 4.预留有10 个KF40 标准接口 5.配置有双层不锈钢搁物架 6.安全阀，保护设备和手套箱内材料 7.钢结构支架，高914mm，安装有万向脚轮二、过渡舱 1.一个大过渡仓 1)材质：SUS304 不锈钢 2)尺寸：Φ360X600mm 3)位置：箱体右侧 4)连接方式：密封法兰连接 5)传送方式：通过移动托盘，托盘易拆卸，方便转移体积大的物料 6)操作方式 a)手动操作：通过触摸屏点触阀门 b)自动操作：具有自动抽气和充气功能，用户只需在触摸屏上点触启动按键，PLC 自动完成多次抽充程序，规范操作，节省时间，提高工作效率。用户可以设定抽充次数，每次抽气时间和充气压力。 2.两个小过渡仓 1)材质：SUS304 不锈钢 2)尺寸：Φ155X320mm 3)位置：箱体右侧和左侧 4)连接方式：密封法兰连接 5)传送方式：通过移动托盘 6)操作方式：通过三通球阀手动操作三、气体纯化化系统 1.一个气体纯化柱： 1)选择了最适合手套箱气体净化的高性能的铜催化剂和分子筛，用于除水和除氧 2)氧气和水的吸附量分别为60升和2公斤 2.气体纯化柱吸附饱和后，用含氢的氮气或氩气再生，恢复其吸附能力 1)用氢气/氮气混合气作为再生气。H2：5%； N2:95% 2)由于手套箱的超低泄漏率，净化柱的再生频率约为每年一次 3.一个循环风机 1)流量90m³/h 4.有机溶剂吸附柱 1)含活性炭颗粒吸附材料 5.电气动控制的循环主阀，KF40 标准接口 6.所有气路都由电磁阀控制，净化柱再生完全实现自动控制 7.循环系统的进出口装有气体过滤器四、控制系统 1.控制系统进口的PLC 和7”彩色触摸屏组成，中英文操作界面 2.实现以下控制功能 1)自动控制箱体压力 a)用户可以在+10 至-10 毫巴之间任意设定工作压力区间，PLC 将自动调控箱体压力在设定范围内。工作压力区间的默认值为0 至+5 毫巴 b)箱压大于12 毫巴时，PLC 自动开启安全阀泄压，保护手套、设备和箱体内的材料 c)使用脚踏开关，对箱压进行微调 2)单键实现过渡舱多次抽充气操作，节省时间 a)用户可以设定抽充次数、每次抽气时间和充气压力，然后启动自动抽充程序，在设定的时间内自动完成抽充 3)可以手动监测泄漏率 a)设定手动检测：只需按下启动检测按钮，PLC 自动对箱体的密封性进行检测并报告箱体的泄漏率 4)箱内气体自动清洗功能 a)用户设定清洗时间，再触摸屏上点触启动按键，系统将开始清洗箱体，到设定的时间是自动停止 5)系统历史数据自动记录和显示，也可以用U 盘导出在特定时间内的数据，如箱压、水含量和氧含量 6)显示操作错误和提示 7)箱体气氛自动报警 8)所有操作均有预设条件，动作互锁，避免不安全操作损坏设备或破坏箱体内的气氛五、技术指标 1．泄露率﹤0.02vol%/h 2． H₂O﹤1ppm ，O₂﹤1ppm 六、其它附件 1.一台氧分析仪 1、测量范围可设：0-1000ppm 2、精度：量程的1% 或0.2ppm 3、安装位置：科晶的氧传感器安装在箱体上，无论气体循环与否，氧传感器不间断地检测箱体内气氛，显示手套箱内的氧含量 4、传感器：氧化锆电池，其优点是零点准确、漂移小 5、显示：分析仪的输出连接到PLC，检测数值在触摸屏上显示，可以设定报警值 6、控制：科晶采用实时监测功能，时刻保证并快速净化氧，用最快的时间保证客户设定的氧含量标定值 7、标定方法：准确检测手套箱内的氧气含量示至关重要的，科晶还向提供用户分析仪的标定方法，使得分析仪能准确检测手套箱内的杂质浓度，避免错误的读数对实验结果造成影响，浪费用户的宝贵时间和材料 2．1 台水分析仪 1)测量范围：20℃到-100℃（露点） 2)精度：2℃ 3)显示：分析仪的输出连接到PLC，检测数值在触摸屏上显示，可以设定报警值 4)控制：与氧分析仪一样，可以根据用户的设定对气体循环系统进行自动控制，实现自动循环 4.箱内电源接口，配有多孔插座 5.真空通阀1 根七、验收方法使用99.999%的惰性气源，空箱运转，箱内水氧含量均小于1PPM

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