4电弧提拉法单晶生长炉 - 深圳市科晶智达科技有限公司

SP-MSM-4CZ 4电弧提拉法单晶生长炉

应用范围：SP-MSM-4CZ是一款采用4电弧的提拉法单晶生长炉（采用Ar气电弧对样品熔融，提拉装置提拉），其温度可达3000℃。腔体为304不锈钢腔体（带有水冷夹层），真空度可达10-5Torr.此款单晶炉特别适合生长高熔点的单晶，如Ti单晶，YSZ，SiC和CeRh2Si等等。

产品型号：SP-MSM-4CZ

上架时间：2019-07-24

安装尺寸：800mm（L）*800mm（W）*1500mm(H)

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SP-MSM-4CZ是一款采用4电弧的提拉法单晶生长炉（采用Ar气电弧对样品熔融，提拉装置提拉），其温度可达3000℃。腔体为304不锈钢腔体（带有水冷夹层），真空度可达10-5Torr.此款单晶炉特别适合生长高熔点的单晶，如Ti单晶，YSZ，SiC和CeRh2Si等等。

性能指标和基本配置
腔体	● 采用304不锈钢腔体，带有水冷夹层，可通入冷却水 ● 腔体上安装有石英窗口，以便观察样品 ● 腔体真空度：10-5Torr（采用分子泵） ● 腔体尺寸：Φ257*360mm
真空计	腔体上安装有数显防腐真空计和机械压力表
电弧枪	● 共有4个电弧枪，可让样品得到均匀的温场（电弧枪都带有冷却水） ● 钨电极直径为Φ4mm ● 电弧腔体对样品的角度和距离可手动调节 ● 起弧电源： 18 V / 185 A 电压380V ● 熔炼温度可达3000℃
样品台	● 采用水冷铜坩埚 ● 可投如样品量为60g(按铁计算)
提拉机构	● 控制器控制提拉机构的提拉速度，转速和转速 ● 提拉速度：0.2-10mm/h ● 提拉行程：0-70mm ● 转速：0-40RPM
控制单元	可显示和设置单晶生长的参数（起弧电流，提拉杆转速，提拉行程和转速）
真空泵	● 设备中配有一分子泵系统（机械泵+涡旋分子泵） ● 抽气速率：100L/S ● 可使设备腔体的真空度达到10-5Torr(40分钟内)
循环水冷机	● 功率：800W ● 水流速度：58L/min ● 制冷能力：5004W（17500Btu/hour） ● 温度控制：5~30 °C
设备尺寸	800mm（L）800mm（W）1500mm(H)
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。

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