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SKJ-LCZ 悬浮提拉晶体生长炉

应用范围:SKJ-LCZ是一款特殊的提拉法(CZ)晶体生长炉(采用悬浮熔炼对金属样品熔化,最高温度可达2000℃)。此系统采用组成:高频感应加热电源,高真空腔体,水冷铜坩埚(悬浮熔炼)和精密提拉机构。悬浮熔炼避免了坩埚的污染,可得到高纯度的金属(合金)单晶。

产品型号 :SKJ-LCZ

上架时间 :2019-07-23

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       SKJ-LCZ是一款特殊的提拉法(CZ)晶体生长炉(采用悬浮熔炼对金属样品熔化,最高温度可达2000℃)。此系统采用组成:高频感应加热电源,高真空腔体,水冷铜坩埚(悬浮熔炼)和精密提拉机构。悬浮熔炼避免了坩埚的污染,可得到高纯度的金属(合金)单晶。

 性能指标和基本配置
设备结构

● 40KW感应加热电源,用于悬浮熔炼
● 特殊设计水冷铜坩埚,可熔炼60g样品
● 高真空腔体,真空度可达10-6torr(采用分子泵系统)
● 精密可旋转(籽晶杆可旋转)提拉机构,提拉速度为0.1mm/h-24mm/h

感应加热电源

● 最大功率:40KW
● 频率 :80-200KHz
● 电流:10-100A
● 电压:  380V +/-10% , 三相, 50/60Hz
● 水冷却:水压 ≧0.2MPa  水流量:  ≧10L/min

水冷铜坩埚

● 坩埚尺寸: Φ35mm* 60mm
● 熔炼量: 最大 60g 
● 需冷却水流量:  58L/min

提拉机构

● 提拉速度:  0.1-24mm/h 
● 籽晶杆转速:  0.03-50r/min
● 最大提拉行程: 250 mm
● 可快速手动提拉
● 提拉杆内部有水冷却

真空腔体&真空泵

● 采用SS304不锈钢腔体,带有水冷夹层
● 腔体尺寸: Φ400x 40 D mm
● 石英窗口: Φ300mm
● 真空度:  10-6 Torr (采用分子泵系统)
● 真空泵: 分子泵体统,抽气速率700L/S

循环水冷机

● 设备所需冷却水流量≧110L/min
● 可在本公司选购循环水冷机

质量认证

CE认证
1

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。
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