定向CVD生长炉 - 深圳市科晶智达科技有限公司

OTF-1200X-50-DSL 定向CVD生长炉

应用范围：OTF-1200X-50-DSL是一款水平滑轨炉，其炉管直径为Φ50mm,炉体滑动速度可以根据实验需要而设置（1mm/sec-100mm/s),并可以设置左右反复滑动，同时还可以设置炉体的滑动距离。此款管式炉专门设计用CVD方法定向生长单壁碳纳米管（SWCNTs）。通时此款滑轨炉也可用来在硅片上生长熔点较低的金属单晶。此系统包含了可设30段程序的高温炉、一根Φ50*1000mm的石英管和一套不锈钢真空法兰。

产品型号：OTF-1200X-50-DSL

上架时间：2019-07-23

安装尺寸：315 x 300 x 380 mm (炉体)

1200 x 400 x 530 mm ( 整个外形)

360 x 180 x 300 mm（电器控制柜）

重量：100Kg

A^-A⁺

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OTF-1200X-50-DSL是一款水平滑轨炉，其炉管直径为Φ50mm,炉体滑动速度可以根据实验需要而设置（1mm/sec-100mm/s),并可以设置左右反复滑动，同时还可以设置炉体的滑动距离。此款管式炉专门设计用CVD方法定向生长单壁碳纳米管（SWCNTs）。通时此款滑轨炉也可用来在硅片上生长熔点较低的金属单晶。此系统包含了可设30段程序的高温炉、一根Φ50*1000mm的石英管和一套不锈钢真空法兰。

性能指标和基本配置
炉体结构	● 采用双层壳体结构，并带有风冷系统 ● 一个滑轨安装在炉体下端，可通过一6“的触摸屏来控制炉体移动方向、滑动速度和往返次数 ● 采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料，并且表面涂有美国进口高温氧化铝涂层，可提高加热效率和延长使用寿命。
功率	1.5KW
电压	AC220V，单相
最高共工作温度	1200℃（≤1小时）
连续工作温度	1100℃
加热区域	● 加热区：200mm(单温区） ● 通过管堵位置和炉体移动可形成想得到的温度梯度
加热元件	掺钼铁铬铝（表面涂有高温氧化锆涂层，可延长其使用寿命）
炉管	● 高纯石英管 ● 尺寸：50 mm OD x 46mm ID x 1000 mm L ● 仪器加热前，必须放入管堵，以防止热量辐射影响法兰的密封性
温控系统	● 采用PID方式调节温度，可设置30段升温、降温和保温程序 ● 设置有温度过高和断偶保护系统 ● 控温精度：±1℃ ● 可选测PC控制软件，将升温程序和温度曲线导入到电脑中
炉体滑动控制系统	● 触摸屏控制 ● 炉体移动有手动和自动控制两种控制状态，在手动状态和自动状态下均可设定左右移动的速度，但只有在自动状态下才能设定左右移动的次数。 ● 含蜂鸣报警器，当炉体触碰到限位开关就会产生报警，并切断控制电路，使炉体停止移动。 ● 可显示高温炉内的炉温，与之通讯
密封法兰	● 仪器中配有一套不锈钢密封法兰（上面已安装不锈钢针阀和机械压力表） ● 法兰上有一Φ6.35的铠装孔，可将热电偶插入到炉管中，更准确地测量样品的实际温度
石英气体喷嘴	可选配石英气体喷嘴，将反应气体与缓冲清洗气体分开通入，可有效减少副反应发生，实现高端CVD工艺，如局部控制前体浓度化学气相沉积工艺（ALC CVD）或单晶二维材料薄膜的生长工艺等。
真空度	● 10E-5 torr （用分子泵） ● 10E-2 torr （用直联式机械泵）
滑轨长度	1200mm
产品尺寸	● 315 x 300 x 380 mm (炉体) ● 1200 x 400 x 530 mm ( 整个外形) ● 360 x 180 x 300 mm（电器控制柜）
重量	100Kg
质量认证	CE certified
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。
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OTF-1200X-50-DSL 定向CVD生长炉（英文版操作视频）

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