实验设备

● 等离子体射频电源：110V 或220VAC, 50/60 Hz, < 100W
● 输出频率： 13.56 MHz
● 三档射频功率大小： 7.2W. 10.5W 和 18W （可调节）
● 腔体尺寸：3"OD x 2.7"ID x 16" L
● 仪器中带有一套不锈钢密封法兰使得腔体内部的真空度为10^-2 torr（用机械泵）

● 有一滑轨法兰安装于移动架上，以便于样品的放入和取出。
● 样品可以放入加热线圈内，以达到更好的加热效率和温度的均匀性。

● 加热圈尺寸：50mm OD x 40mm ID x 70mm，可使样品达到的温度为400℃
● 加热圈上套有一2" ID x 75mm L的石英罩，以减小热量损失
● 温控方面:采用PID方式调节温度，同时可设置30段升降温程序，控温精度为： +/-1ºC，输入电源： AC 220V

● 混气箱上安装有两个浮子流量计，其量程为10-100SCCM
● 三个机械压力表：-0.1-0.15 MPa,
● 混气箱上安装有304不锈钢针阀
● 配有三根1/4"的聚四氟乙烯管
● 混气箱尺寸:  340Lx300Dx 180H, mm ( 13.4"x12"x7").
● 净重: 14 lbs.

标准的真空配置有 ：
● 一套3"的不锈钢法兰（上面安装有KF-25的真空泵接口，一个1/4"卡套接头和不锈钢针阀）
● 一根KF25的波纹管（长度为1m)和三KF25卡箍
● 一个数字式真空显示计
● 等离子腔体中可以通入多种惰性性气体，如N2, Ar, Air ，以及各种混合性气体。
● 可以调整腔体内的压力或是进气流量，确保等离子体达到样品处
（注意：不可通入易燃易爆性气体）

● 仪器中配有一双旋机械真空泵，其抽气速率为120L/min。
● 进气口为KF25接口，可以使腔体内真空度小于30mTorr

设备中配有一 600L x 600W x 600H（mm)的移动架，整个CVD系统可以安置于其上面

●  等离子源： 8.5" H x 10" W x 8" D
●  温控盒： 4"H x 10"W x 8"D
●  移动架：600 x 600 x 600mm

70 lb (包含真空泵)

CE Certified