小型滑动PECVD管式炉系统

OTF-1200X-50-PE-SL 小型滑动PECVD管式炉系统

应用范围：OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型的PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)，滑动式开启式管式炉系统。此套设备带有300W的等离子射频电源，一个炉管直径为50mm的开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）和机械泵组成。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD 系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索，此套系统极为理想。

产品型号：OTF-1200X-50-PE-SL

上架时间：2019-07-03

安装尺寸：1500mm x 600mm x 1200mm ( L x W x H)

重量：160Kg

A^-A⁺

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OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型的PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)，滑动式开启式管式炉系统。此套设备带有300W的等离子射频电源，一个炉管直径为50mm的开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）和机械泵组成。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD 系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索，此套系统极为理想。

性能指标和基本配置
特点	● 与普通CVD相比可以在低温环境下进行气相沉积实验 ● 可以通过炉体滑动达到快速升温和降温 ● 对于薄膜的应力可以通过射频电源的频率来进行控制 ● 通过工艺调节来控制化学计量 ● 可以沉积各种材料，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等.
开启式管式炉	● 输入电源: 208 – 240V AC,功率： 1.2kW ● 最高工作温度1200°C，小于60分钟 ● 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命（点击文字了解涂层的详细参数） ● 连续工作温度1100°C ● 炉管采用高纯石英管：50mmOD x 44mmID x 1000mm L ● 可设置30段升降温程序，并且带有过热和断偶保护功能 ● 加热区长度：200mm 单温区. 以下图片显示加热区的温度曲线图
等离子体射频电源	● 输出功率: 5 -300W 可调稳定性± 1% ● 射频电源频率: 13.56 MHz 稳定性±0.005% ● 最大反向功率: 200W ● 匹配:自动 ● 射频电源电子输出端口: 50 Ω, N型半导体, 阴极 ● 噪音: <50 dB. ● 冷却:风冷 ● 电源: 208-240VAC, 50/60Hz
真空法兰和接头	● 真空法兰采用 304不锈钢制作. ● 左端法兰上安装有 KF-25真空接口，2个KF-25快速卸装卡箍，KF-25直角阀，KF-25真空波纹管和1/4软管接头和不锈钢针阀
真空泵及水冷机	● AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W ● 2 Liter /S ● 出气端安装有油雾过滤器（防止油雾扩散到空气中，保护环境和人体健康） ● 真空度: 10-2 torr 可选水冷机：
外形尺寸	1500mm x 600mm x 1200mm ( L x W x H)
净重	160kg
应用注意事项	●炉管内气压不可高于0.02MPa ●由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ●当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 ●进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ●石英管的长时间使用温度＜1100℃ ●对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
质量认证	CE Certified
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。

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