双炉体滑动PECVD系统＆循环手套箱 - 深圳市科晶智达科技有限公司

TF-1200X-PESDFG-50 双炉体滑动PECVD系统＆循环手套箱

应用范围：OTF-1200X-PESDFG-50是一款双炉体滑动的PECVD系统，并且连接有循环手套箱。此款设备中石英炉管与一循环手套箱相连接，允许客户用CVD方法把样品制作好以后，直接把样品移入到气氛保护环境下的手套箱中。炉体采用滑动式，可在室验中对样品进行快速加热和快速冷却。此款仪器特别适合新一代纳米材料和二维晶体材料的探索研究。

产品型号：OTF-1200X-PESDFG-50

上架时间：2019-07-04

安装尺寸：780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H)

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TF-1200X-PESDFG-50是一款双炉体滑动的PECVD系统，并且连接有循环手套箱。此款设备中石英炉管与一循环手套箱相连接，允许客户用CVD方法把样品制作好以后，直接把样品移入到气氛保护环境下的手套箱中。炉体采用滑动式，可在室验中对样品进行快速加热和快速冷却。此款仪器特别适合新一代纳米材料和二维晶体材料的探索研究。

性能指标和基本配置
结构特点	● 两个炉体在一个滑轨上面，和通过对炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果 ● 连续工作温度:1100℃ ● 两个炉体都可以设置30段升降温程序
等离子射频电源	● 输出频率: 13.56 MHz ±0.005% ● 最大射频功率: 500W ● 匹配: 自动匹配 ● 噪音: <50 dB. ● 冷却: 空气冷却. ● 输入电源: 208-240VAC, 单相, 50/60Hz
真空系统	● 采用VRD-16的双旋真空泵, 极限真空10E-3 Torr ● KFD25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连。 ● 管内真空可达10E-2 Torr
质量流量计混气系统	● 四个精密的质量流量计(精度1.5% ) ：数字显示，自动控制. ● MFC1范围: 0~100 sccm ● MFC2和3: 0~200 sccm ● MFC4范围: 0~500 sccm ● 一个混气罐，底部装有泄废液口. ● 4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体. ● 进气口: 4个1/4NPS. ● 出气口: 4个 1/4NPS. ● 采用PLC控制流量计，通过触摸屏进行控制 ● 可选购气液混合装置，用于CVD系统
炉管&密封法	● 高纯石英管，尺寸50mm O.D x 44mm I.D x1800 mm L ● 配有一套不锈钢密封法兰，并且上面安装有真空计
防腐型真空计	● 输入电源 24V，1A DC（配有一电压转换器） ● 测量范围 3.8x10-5 -1125 Torr. ● 数据显示数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr ● 接头 KF16 接头 ● 产品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
循环手套箱	● 手套箱尺寸：780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H) ● 带有除水系统：保持水含量< 2 ppm ● 一真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管相连接
质量认证	所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证/ CE认证，如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。

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