应用范围:OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通过CE认证的双温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用双旋片机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,可以混合1-3种气体,其真空度可达到 10-2 torr.
产品型号 :OTF-1200X-80-II-F3LV
上架时间 :2019-07-01
安装尺寸:炉体: 550 x 380 x 520
移动架: 600x600x597
重量 :约60kg
OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通过CE认证的双温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用双旋片机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,可以混合1-3种气体,其真空度可达到 10-2 torr.
| 性能指标和基本配置 | |
|---|---|
| 壳体结构 |
● 双层壳体结构,并带有分冷,使得壳体表面的温度小于 55 ℃ |
| 功率 |
2.5 KW |
| 电压 |
AC 208-240V 单相, 50/60 Hz |
| 最高工作温度 |
1200℃ |
| 连续工作温度 |
1100℃ |
| 最快升温速率 |
≤20 ℃ |
| 炉管材质和尺寸 |
石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
| 加热元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo |
| 加热区长度 |
两个加热区: 每个温区200 mm (8") |
| 温度控制器 |
● 两个精密的温度控制器,单独的控制两个温区 |
| 控温精度 | +/- 1 ℃ |
| 真空密封系统 |
● 两个不锈钢密封法兰,法兰上有KF-25接口和法兰上已经安装机械压力表(图片中的蓝表为选配)阀门 |
| 真空泵 |
● 采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米。 |
| 防腐型真空计 |
● 本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍) |
| 混气系统 |
● 3个浮子流量计安装在一个移动架上,可以推动,可同时混入三种不同气体。 |
| 阀门 |
四个不锈钢阀门安装移动架的侧面板上分别在三个气体的入口处 |
| 产品净重 |
约60KG |
| 运输重量 |
600 lbs |
| 外形尺寸 |
● 炉子: 550 x 380 x 520 |
| 开门断电 | |
| 应用注意事项 |
●炉管内气压不可高于0.02MPa |
| 质量认证 |
所有电器元件(>24V)都通过UL / MET / CSA认证/ CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证 |
| 保修期 |
一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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