1200℃微型二通道混气CVD系统 - 深圳市科晶智达科技有限公司

OTF-1200X-S50-2F 1200℃微型二通道混气CVD系统

应用范围：OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式炉，是一款通过CE认证的可开启式管式炉，能使样品加热到1200℃。左法兰上安装一个数字式真空显示计，右法兰上安装有一KF-25接口，可以与机械泵相连接（抽速为226L/m）。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头，使得炉体可与两路混气系统相连接。精确的控温系统提供30段升温和降温程序，其控温精确度为+/- 1 ℃ 。

产品型号：OTF-1200X-S50-2F

上架时间：2019-06-28

安装尺寸：炉体:340 x 300 x 400mm

真空泵:440 x 160 x 300mm

混气系统: 340 x 300 x 180mm

重量：100 lbs

A^-A⁺

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OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式炉，是一款通过CE认证的可开启式管式炉，能使样品加热到1200℃。左法兰上安装一个数字式真空显示计，右法兰上安装有一KF-25接口，可以与机械泵相连接（抽速为226L/m）。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头，使得炉体可与两路混气系统相连接。精确的控温系统提供30段升温和降温程序，其控温精确度为+/- 1 ℃ 。

性能指标和基本配置
炉体结构	● 采用双层壳体 ● 炉膛采用多晶氧化铝纤维，最大程度减小能量损失 ● 内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度
功率	1.75KW
电压	AC -220V
温度	● 最高工作温度：1200℃（< 1hr） ● 连续工作温度1100 ℃ ● 升温速率 <= 10C/min
炉管	石英管50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length)
加热区	加热区长度: 8" (200mm)
温控系统	● PID30段程序化控温 ● 控温精度: +/- 1℃
加热元件	掺钼铁鉻铝（表面涂有氧化锆涂层，使其最大程度延长使用寿命）
两路混气系统	● 两个浮子流量计量程为16 —100mL/min ● -0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa/grit) ● 三个机械压力表：-0.1-0.15 MP ● 混气箱上安装有一不锈钢针阀 ● 后端装有φ6.35卡套接头，无需通电 ● 外型尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm ( 13.4"x12"x7"). ● 净重: 14 lbs
真空法兰和配件	结构标准真空配件: ● 一个防腐型真空计 ● 一个φ6.35的卡套接头 ● 两个KF25转接头 ● 一个600mm的不锈钢波纹管
防腐型真空计	本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（点击图片查看详细介绍）
真空泵	我公司有多种真空泵可选，请点击图片，或是致电我公司销售
产品净重	100 lbs
运输重量	200 lbs
外形尺寸	● 炉体:340 x 300 x 400mm ● 真空泵:440 x 160 x 300mm ● 混气系统: 340 x 300 x 180mm.
开门断电	为保证使用安全，该电炉为开门断电设计
应用注意事项	● 炉管内气压不可高于0.02MPa ● 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ● 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 ● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ● 石英管的长时间使用温度＜1100℃ ● 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，● 以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
质量认证	所有电器元件（>24V）都通过UL / MET / CSA认证/CE认证若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。

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