1200℃单温区三通道混气CVD系统 - 深圳市科晶智达科技有限公司

OTF-1200X-80-I-F3LV 1200℃单温区三通道混气CVD系统

应用范围：OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统，其管径为80mm，采用机械泵，供气系统为三路浮子供气系统，其真空度可达到 10-2 torr.

产品型号：OTF-1200X-80-I-F3LV

上架时间：2019-07-01

安装尺寸：炉体: 550 x 380 x 520mm

混气系统: 600x600x597 mm

重量：约60kg

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OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统，其管径为80mm，采用机械泵，供气系统为三路浮子供气系统，其真空度可达到 10-2 torr.

性能指标和基本配置
高温炉壳体	● 采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面温度小于55℃ ● 内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度
功率	2.5 KW
电压	AC 208-240V 单相, 50/60 Hz
最高工作温度	1200℃
连续工作温度	1100℃
最快升温速率	≤20 ℃
炉管材质和尺寸	石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm
加热元件	掺钼铁鉻铝合金（表面涂有氧化锆涂层，使其最大程度延长使用寿命）
加热区长度	400 mm
控温系统	PID30段程序化控温
控温精度	+/- 1 ℃
真空密封系统	● 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀），最大漏气率6 mtorr/min
真空泵	● 采用双旋机械泵，机械泵上安装有油污过滤器，可以过滤真空泵工作时产生的油烟，减少泵油的损耗，保护环境和人体健康，过滤的最小微粒直径为0.3微米。
防腐型真空计	● 本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（点击图片查看详细介绍）
混气系统	● 三个浮子流量计 ● 三路浮子量程分别为 ● 10-100 cc/min. ● 16-160 cc/min. ● 25-250 cc/min ● 内部安装有一混气罐
产品净重	约60kg
运输重量	200kg
外形尺寸	● 炉体:550 x 380 x 520mm ● 混气系统: 600x600x597 mm
开门断电	● 为保证使用安全，该电炉为开门断电设计
应用注意事项	●炉管内气压不可高于0.02MPa ●由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ●当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 ●进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ●石英管的长时间使用温度＜1100℃ ●对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
质量认证	CE Certificate
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。

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