应用范围:带滑动法兰三温区CVD系统OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加热至1200℃,并通过调整三个温区而建立不同梯度的热场,可进行退火、扩散、在不同气氛中烧结样品及CVD等实验。
产品型号:OTF-1200X-5-III-F3LV
上架时间:2020-04-20
管式炉尺寸:1080mm×430mm×600mm
重量:70kg
| 功能特点 |
|---|
| 技术参数 | |
|---|---|
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 |
| 水 | 不需要 |
| 电 | AC220V 50Hz,必须有良好接地 |
| 气 | 设备腔室内需充注气体,需自备气瓶气源 |
| 工作台 | 尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上 |
| 通风装置 | 需要 |
| 电源 | 单相AC 208-240V 50/60Hz 7KW (40A保险丝) |
| 石英管 | 外径Ø125mm,内径120mm,长1400mm,带有一对真空密封法兰 |
| 加热元件 | 掺钼铁铬铝合金电阻丝 |
| 加热区域 | 温区I长229mm,温区II长457mm,温区III长229mm,总长915mm |
| 恒温区域 | 三个温区为同一温度时为625mm,温区II为110mm |
| 工作温度 | 最高1200℃,连续工作1100℃ |
| 最大升降温速率 | 20℃/min |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 热电偶 | K型 |
| 浮子流量计 | 3个,量程0-100ml/min、0-160ml/min、0-250ml/min |
| 数字真空计 | 10-4torr |
| 管式炉尺寸 | 1080mm×430mm×600mm |
| 重量 | 70kg |
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