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GSL-1700X-4-C2HV 1700℃两通道混气高真空CVD系统

应用范围:1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV是由单温区管式炉、两路质子混气系统和高真空机组组成,最高工作温度可达1600℃,混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入管式炉内部,本系统极限真空度可达10-5 torr

产品型号:GSL-1700X-4-C2HV

上架时间:2020-04-20

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       1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV是由单温区管式炉、两路质子混气系统和高真空机组组成,最高工作温度可达1600℃,混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入管式炉内部,本系统极限真空度可达10-5 torr。
  功能特点
  • 双层壳体,配有风冷系统,壳体温度<55℃。
  • 采用高纯氧化铝纤维,有效减少热量损失。
  • 内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高加热效率和使用寿命。
  • 采用PID控制器 ,可以设置30段升降温程序。
  • 已通过CE认证。
  技术参数
安装条件 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
不需要
AC220V 50Hz,必须有良好接地
设备腔室内需充注气体,需自备气瓶气源
工作台 尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上
通风装置 需要
管式炉 电源 单相AC 208V-240V 50Hz/60Hz 6KW
炉管 高纯氧化铝陶瓷管,外径Ø100mm,内径Ø92mm,长1000mm
加热元件 1800℃硅钼棒8根
加热区域 457mm
恒温区域 150mm
工作温度 最高1650℃,连续工作1600℃
最大升降温速率 ≤5℃/min
控温精度 ±1℃
热电偶 B型
不锈钢真空法兰 1对
机械压力表 1个
针阀 2个
连接器 KF-25,1个
抽气接口 KF-25转KF-40
卡套接头 1/4″
高真空机组 电源 单相AC208V-240V 50Hz/60Hz 100W-110W
真空泵 德国Pfeiffer真空泵
显示屏 LCD数字显示
抽气速率 N2-33L/s,He-39L/s,H2-32L/s
工作范围 1000mtorr-10-7mtorr
极限 10-8mtorr(无泄漏)
质量流量混气系统 电源 单相AC208V-240V 50Hz/60Hz 18W
功率 18W
混气箱 Φ80mm×120mm
管式炉尺寸 550mm×380mm×520mm
高真空机组尺寸 600mm×600mm×700mm
质量流量混气系统尺寸 600mm×600mm×700mm
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