您好! 欢迎您到访科晶智达官方网站                                                                                                                                                                                    本公司提供锂电池研发实验装备、锂电池生产中试线装备、锂电池安全检测设备,光电特种包装等全套解决方案。   欢迎订购 !                                                                                                                                                                                    感谢国内、港澳台地区及海外2000+ 高校、科研院所及企业对科晶智达长期以来的信赖与支持 !                                                                                                                                                                                    

RTP-1000-F3LV 快速升温CVD系统

应用范围:快速升温CVD系统RTP-1000-F3LV是专为半导体基片、太阳能电池及其它样品(尺寸可达3″ )的退火而设计,配有3路流量计和机械泵。本机采用 9KW的红外灯进行加热,最快升温速度可达 100/s,配有RS485 接口,可以通过控制软件在计算机上控制运行并显示温度曲线。

产品型号:RTP-1000-F3LV

上架时间:2020-04-16

炉体尺寸:760mm×330mm×530mm

炉体重量:45kg

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询
       快速升温CVD系统RTP-1000-F3LV是专为半导体基片、太阳能电池及其它样品(尺寸可达3″ )的退火而设计,配有3路流量计和机械泵。本机采用 9KW的红外灯进行加热,最快升温速度可达 100℃/s,配有RS485 接口,可以通过控制软件在计算机上控制运行并显示温度曲线。
  功能特点
  • 双层Al2O3纤维钢构,无需水冷或风冷。
  • 内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层,可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。
  • PID控制器 ,可以设置30段升降温程序,并设有过热保护和断偶功能。
  • 已通过CE认证。
  技术参数
安装条件 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
不需要
AC220V 50Hz,必须有良好接地
设备腔室内需充注气体,需自备气瓶气源
工作台 尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上
通风装置 需要
电源 单相208V-240V AC 50/60Hz 9KW
石英管 外径Ø110mm,内径Ø103mm,长380mm
加热元件 红外灯管,直径Ø10mm,长300mm
加热区 300mm
工作温度 最高温度1100℃
控温精度 ±0.5℃
最高升温速度 RT-800℃时为50℃/s,800℃-1000℃时为10℃/s
温控仪 可控硅(SCR)PID自动控制
真空法兰 不锈钢,带有水冷接口和针阀,双层高温O型圈密封,长时间在>900℃条件下运行必须采用水冷,循环水流量为0.5m3/hr
真空度 10-3torr
流量计 3个,量程40cc/min-400cc/min,精度4%FS
炉体尺寸 760mm×330mm×530mm
炉体重量 45kg
真空混气系统尺寸 600mm×600mm×597mm
真空混气系统重量 30kg
可选配件 防腐型数字式真空显示计
暂无内容
暂无内容

留言咨询

* 产品型号:

不能为空

* 产品名称:

不能为空

* 访客姓名:

不能为空

* 访客手机:

手机号格式不对

* 访客 QQ:

必须是数字

* 电子邮箱:

E-mail格式不对

* 详细地址:

不能为空

* 留言内容:

不能为空

免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等),仅供参考。可能由于更新不及时,或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异,请与本公司客服人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知。

  • 哔哩哔哩

  • 抖音

  • 材料商城

  • 手机淘宝

  •  |  网站首页  |  关于我们  |  设备产品  |  光电包装  |  新闻资讯  |  解决方案  |  技术支持  |  人力资源  |  合作客户  |  视频中心  |  联系我们  | 

    Copyright @ 2011-2022 .深圳市科晶智达科技有限公司 Tel:0755-26959531 邮箱:info@szkejing.com

    粤ICP备11079497号

    在线
    客服

    售前咨询 09:00-17:30

    技术
    支持

    技术支持 09:00-17:30

    销售
    热线

    0755-26959531 5*8小时销售服务热线

    售后
    热线

    400-8865-130 售后服务热线

    关注
    微信

    关注官方微信

    小程序
    商城

    小程序商城

    付款
    信息

    微信付款

    支付宝付款

    在线
    留言

    请提交您的留言

    * 姓名:

    不能为空

    * 手机:

    手机号格式不对

    * 邮箱:

    E-mail格式不对

    * 内容:

    不能为空