8.5英寸等离子清洗机 - 深圳市科晶智达科技有限公司

PCE-80 8.5英寸等离子清洗机

应用范围：PCE-80是一款较大型的等离子清洗机，等离子腔体为 8.5 "dia x 12“"L的石英腔体，采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等）。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

产品型号：PCE-80

上架时间：2019-09-03

安装尺寸：620 L ×600 W ×600 H, mm

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PCE-80是一款较大型的等离子清洗机，等离子腔体为 8.5 "dia x 12“"L的石英腔体，采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等）。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

性能指标和基本配置
主要特点	● 最大射频功率: 100 W ● 真空泵功率: < 500W ● 总功率: < 600W ● 电源：AC 220V , 50Hz
射频电源	● 射频功率可在 0 - 100W之间调节 ● 频率: 13.56 MH ● 可以与本公司工作人员联系将原有电源升级为300W或500W的射频电源，来进行等离子刻蚀或等离子灰化等实验
等离子腔体	● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体 ● 铝制折叠式法兰来进行真空密封 ● 法兰上有一个直径为60mm的观察窗口 ● 此设备完全屏蔽射频辐射，零射频泄漏
控制面板	● 通过6" 彩色触摸屏，可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等. ● 仪器内部安装有一0 - 500ml/minute质量流量计，可精确地控制进气流量
真空泵（选配）	● 仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵 ● 极限真空度为50mTorr（参考值，具体请点击） ● 真空泵模块
通入气体	● 等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合气体等等（根据材料性质所定） ● 不能使用易燃气体及腐蚀性气体。
可选	● 可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片 ● 可选购2-4通道质子或浮子混气系统 ● 图片（空气系统模块）
外形尺寸	620 L ×600 W ×600 H, mm
相关应用	● 请自行根据您的应用测试最佳的等离子功率 ● 对于等离子清洗，根据工艺，通常保持射频功率在10 - 30W之间 ● 对于等离子刻蚀，根据工艺，通常保持射频功率在35 - 80W之间 ● 可根据要求提供300W高功率射频电源
质量认证	CE认证
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。

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实验设备

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