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VTC-100PA 真空旋转涂膜机

应用范围:VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。

产品型号 :VTC-100PA

上架时间 :2019-08-30

安装尺寸:450mm×280mm×340mm

重量:20kg

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       VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。

 性能指标和基本配置
主要特点

● 真空吸附方式固定样件,操作简便。
● 使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置,以减少偏心而造成的震动或飞片。
● 根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。
● 设有12组程序,每组包含6个运行阶段。
● 电机启动快速稳定,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。
● 50W/24V 直流电机
● 适于在Ar气环境中工作(真空泵放置在手套箱外)

参数

● 电机功率:50W/24V
● 速度范围:500-10000rpm
● 程序运行:可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段
● 增减速率设置范围:100rpm/s-2000rpm/s
● 时间范围:0-60s
● 吸盘:Φ19mm、Φ60mm

进气口

上盖有一个直径6mm的进气口可将需要的气体通入腔体,实现在气氛环境下旋转涂覆
1

可选加热部分

上盖内部增加红外灯管加热,采用K型热偶测温,数字温控器控温,最高120℃,可使得样品涂覆后原位烘干,用于薄膜太阳能电池等研究。
1 1 1 1

产品尺寸

450mm×280mm×340mm;

重量

20kg

标准配件

1

真空吸盘(含O型圈) 2个
2 中心定位器(含4个定位柱) 1个
3 滴胶注射器(20ml) 1个
4 注射器支架 1个
5 AP-1400V无油真空泵 1台
6 橡胶管(含卡箍) 1根
可选配件

过滤器(真空泵用)

保修期 一年保修,终身技术支持。
点击查看售后服务承诺书。
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