1350℃温控型插入式蒸发源 - 深圳市科晶智达科技有限公司

GSL-1350-ISE 1350℃温控型插入式蒸发源

应用范围：GSL-1350-ISE是一款温控型可插入式蒸发仪，适用于蒸发各种金属和有机材料，其最高温度可达1350℃。采用磁流体密封，可保证在旋转的腔体中进行PVD实验。KF50的旋转式快接法兰，可非常方便地与各种真空腔体对接。此模块还配有一进气阀，用于通入气体对腔体进行清洗和排气，保证样品在蒸镀过程中不被氧化。

产品型号：GSL-1350-ISE

上架时间：2019-08-20

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GSL-1350-ISE是一款温控型可插入式蒸发仪，适用于蒸发各种金属和有机材料，其最高温度可达1350℃。采用磁流体密封，可保证在旋转的腔体中进行PVD实验。KF50的旋转式快接法兰，可非常方便地与各种真空腔体对接。此模块还配有一进气阀，用于通入气体对腔体进行清洗和排气，保证样品在蒸镀过程中不被氧化。

性能指标和基本配置
结构 & 特点	● 此蒸镀系统升温可以手动和自动两种模式。手动模式可以快速加大电流，达到快速加热蒸发，但温控性较差。自动控制控温较准确。 ● 采用钨线圈加热，氧化铝坩埚装料，其最高温度可达1350℃ ● 精确控温，可设置30段升降温程序，控温精度可达+/- 1 ºC ● Φ6.35mm进气口，可向蒸镀腔体中通入气体
电源	电压：208 - 240 VAC 50/60 Hz, 单相, 500W
温控系统 & 加热源	● 最高工作温度: 1350ºC (<1hr)., 连续工作温度：1200℃ ● 500WDC蒸发电源，最大电流30A ● 钨丝加热，S型热偶测温，氧化铝坩埚装样 ● 温控系统可设置30段升降温程序，控温精度：+/- 1 ºC ● 建议升温速率< 30 ºC/min ● 若长期工作在800℃以上，必须用高温棉填满耐火保温层与坩埚之间的间隙。可减少钨丝加热元件的损耗。
样品坩埚	● 配有0.7ml的氧化铝坩埚 ● S型热电偶嵌在坩埚底部，用于精确测量加热温度
进气口	● 6.35进气口，用于向蒸镀腔体中通入气体 ● 一个针阀安装在进气口后端，用于控制其气体流量
可选	可选购快接法兰,接口为KF50，可与Φ50mm炉管对接
认证	CE认证
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内点击查看售后服务承诺书。

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