1200℃小型单温区大口径开启式管式炉 - 深圳市科晶智达科技有限公司

OTF-1200X-5S 1200℃小型单温区大口径开启式管式炉

应用范围： OTF-1200X-5S是一款CE认证的小型开启式管式炉，其最高工作温度可以达到1200℃。炉管Φ130mm的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰，可在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统，可设置30段升降温程序，控温精度为+/- 1℃。此款管式炉最多可对4英寸的晶片进行退火。

产品型号：OTF-1200X-5S

上架时间：2019-07-05

安装尺寸：炉盖关闭时: 960mm(L) × 500mm(W) × 450mm(H)

炉盖打开时: 960mm(L) ×660mm(W) × 710mm(H)

控制盒尺寸：200mm(L)×300mm(W) × 360mm(H)

重量：48Kg

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OTF-1200X-5S是一款CE认证的小型开启式管式炉，其最高工作温度可以达到1000℃。炉管Φ130mm的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰，可在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统，可设置30段升降温程序，控温精度为+/- 1℃。此款管式炉最多可对4英寸的晶片进行退火。

性能指标和基本配置
主要参数	● 最高工作温度：1200℃（＜0.5小时） ● 连续工作温度：1150℃ ● 建议加热速率：10℃/min ● 功率：3KW ● 电压：AC 220V 50Hz
炉体结构	● 双层壳体结构 ● 采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料，并且表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率，保证温度均匀性 ● 此款管式炉也可做为立式炉使用（点击图片查看详细资料）
加热区	● 加热区长度：300mm ● 恒温区长度：（参考值） ● 100 mm (+/-1ºC ) ● 140 mm (+/-2ºC ) 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考，不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系。
温控系统	● 采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序 ● 带有超温和断偶保护 ● 可选购MTS02-B控温模块，可用电脑设置和显示温度程序
加热元件	掺钼铁铬铝合金
炉管	● 石英管，尺寸：130mm O.D x 120mm I.D x 640mm（L） ● 配有2个氧化铝管堵，使用设备时应放在炉管两端，保证恒温区和法兰密封性 ● 可选购石英管堵，提高炉管内的洁净度和帮助获得高真空
真空密封法兰	● 配有一对不锈钢密封法兰，采用硅胶密封圈密封 ● 右端法兰为KF25接口，用于连接真空泵 ● 左端法兰上安装有机械压力表，接口为1/4英寸卡套接头，用于连接气瓶 ● 真空度：10-2torr (采用机械泵) ● 可选：5英寸的水冷铰链法兰，并带有支撑架 ● 水冷法兰通入冷却水后，设备最高温度可以达到1100℃（＜1小时）
真空泵连接 &可选	● 您可能需要在真空端部安装一个真空阀 ● 您可以订购带真空泵和温度校准套件的炉子。加入真空泵等可选模块
真空压力表	● 安装有一机械压力表，测量范围为-0.1～0.15MPa ● 可选购数显防腐真空计当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类不同而进行系数转换，测量范围为3.8x10-5 -1125 Torr
铠装热电偶（可选）	● 可选购铠装K型热电偶，通过法兰的铠装孔伸入到炉管内部，测量样品的实际温度 ● 可选购一个法兰支撑架，防止炉管转动
外形尺寸	● 炉盖关闭时: 960mm(L) × 500mm(W) × 450mm(H) ● 炉盖打开时: 960mm(L) ×660mm(W) × 710mm(H) ● 控制盒尺寸：200mm(L)×300mm(W) × 360mm(H)
净重	48Kg
认证	CE认证（标准模块不变）
质保期	一年保修，终身技术支持。特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。
应用注意事项	● 炉管内气压不可高于0.02MPa ● 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ● 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 ● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击并同时保护炉内温场。 ● 石英管的长时间使用温度＜1100℃ ● 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

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OTF-1200X-5S 小型大口径开启式管式炉（英文版操作视频）

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