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  • 商品名称: GSL-1100X-XX-III 1100℃三温区大口径管式炉(炉管直径为6英寸、8.5英寸或11英寸)
  • 商品编号: GSL-1100X-XX-III
  • 上架时间: 2014-04-10
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      GSL-1100X-XX-III是CE认证的三温区大口径管式炉,此系列管式炉可选择三种炉管直径:6英寸(152mm)、8.5英寸(216mm)和11英寸(279mm)。设备最高加热温度可达1100℃,控温精度为+/-1℃并可设置30段升降温程序。此款设备配有铰链式法兰,可对材料在真空或气氛保护环境下进行热处理。

技术参数
设备型号 GSL-1100X-6-III GSL-1100X-8.5-III GSL-1100X-11-III
炉管尺寸(石英管) 152 O.D x 143 I.D x 1300mm L 216 O.D x 206 I.D x 1300mm L 279 O.D x 269 I.D x 1300mm L
炉体结构

● 采用双层壳体结构,并且有冷却风扇安装在炉体内部,使设备表面温度小于60℃

● 炉膛材料采用高纯氧化铝纤维

● 设备中配有2个泡沫陶瓷管堵,设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端(保证恒温区和密封圈的密封性)(点击图片查看详细资料)

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石英架(选购)

● 可在本公司选购各种尺寸的石英架,用于对晶片退火

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加热区

● 总加热区长度:900mm

● 三个加热区:300 mm + 300 mm + 300mm

● 恒温区长度:750mm(+/- 2℃,三个温区设置同样的温度) 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系

工作温度

● 最高加热温度:1100℃(<1小时)

● 连续工作温度:400 -1050℃

● 最大升温速率:10℃/min

温控系统

● 三个控温仪表分别独立控制三个温区,都采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序

● 安装有辅助监控仪表

● 热电偶:K型热偶

● 控温精度: +/-1℃

● 可选购控温软件和PC模块,可用电脑来设置和检测设备加热温度

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真空密封&接口

● 一对不锈钢铰链式真空密封法兰

● 法兰底部安装有冷却风扇,保证设备使用时法兰温度低于70℃

● 进气端法兰上安装有机械压力表,进气接口为Φ6.35卡套式接口,抽气端法兰接口为KF25

● 出气端法兰上带有一1/4英寸的铠装孔(用于插入热电偶)

● 真空度:10-2Torr(采用双极旋片式机械泵)

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可选购

● 可选购一套温度测试装置(铠装热偶、补偿导线和温度仪表),用于测试炉管内部的温度

● 可选购分子泵,可使炉管内的真空度达到10-5Torr

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电源

● 单相, 220V AC, 50/60 Hz

● 最大功率:8kw(需要50A的空气开关)

产品 1879 L x 680W x 920 H mm
质保 一年质保期(不包含炉管、加热元件和密封圈)
质量认证

● CE 认证

● 所有电器元件(>24V)都通过 UL / MET / CSA 认证

● 若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国 TUV 认证或 CAS 认证

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应用注意事项

炉管内气压不可高于 0.02MPa

由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

石英管的长时间使用温度<1100℃

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

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