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  • 商品名称: ALD-GSL-4 2通道ALD控制单元
  • 商品编号: ALD-GSL-4 2通道ALD控制单元
  • 上架时间: 2017-08-05
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        ALD-GSL-4是一套2通道ALD控制系统,包含4通道质子流量计进行气体的混合和输送,可与本公司任意管式炉或腔体进行DIY,组建一套ALD系统,用于薄膜的制备或者粉末表面的包覆复合。LCD触摸屏可方便的对每一通道ALD的脉冲时间以及气体流量进行控制。

 
 
技术参数
工作电压&功率 AC220V 单相 50/60Hz  100W
PLC触摸屏

通过6″PLC触摸屏对ALD蒸汽脉冲时间、气体流量等参数进行设定控制

可控制2个ALD阀门的脉冲时间以及循环次数(μs级)

可控制4通道的气体流量(4通道质子流量计,精度±0.2%F.S)

真空压力显示

请点击左图查看控制界面

RS485 通讯接口和PC软件可以连接到电脑上,进行远程控制

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ALD进气阀

对于两种前驱体气体的沉积,需2个ALD进气阀进行控制(不包含在设备中)

客户可使用自己已有的ALD阀或点击下图选购本公司ALD阀

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流量控制

四通道质子流量计控制系统可用于4路气体的通入和混合

  流量范围:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~199 SCCM

四路: 1~499 SCCM

注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

工作温度:5~45ºC  最大压力:3x10 ⑥ Pa  

精度: ±1.5% FS  线性: ±(0.5-1.5)%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.

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通气管道

内置不锈钢混气罐

内部连接管道为1/4”不锈钢管

外部通气管道为1/4”聚四氟管

混气罐 Φ80X120mm
截止阀及配件 316不锈钢针阀   Φ1/4” 不锈钢管
尺寸 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
质量认证 CE认证
质保期 一年保质期,终生维护
可选配件

可选购气液混合装置用于蒸汽的通入,点击下图查看详情

客户可另外付费由本公司对ALD控制单元以及管式炉系统进行连接组装。

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