收藏首页售后保障 丨 物流查询English

产品中心PRODUCTS
您现在的位置:首页 >> 产品中心 >> 混合箱/管式炉 >> 混合箱、管式炉 >> OTF-1200X-5S 小型大口径开启式管式炉
  • 商品名称: OTF-1200X-5S 小型大口径开启式管式炉
  • 商品编号: OTF-1200X-5S
  • 上架时间: 2016-09-08
  • 浏览次数: 191

QQ交流

       OTF-1200X-5S是一款CE认证的小型开启式管式炉,其最高工作温度可以达到1000℃。炉管Φ130mm的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰,可在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统,可设置30段升降温程序,控温精度为+/- 1℃。此款管式炉最多可对4英寸的晶片进行退火。

技术参数
炉体结构

● 双层壳体结构

● 采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,并且表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率,保证温度均匀性

● 此款管式炉也可做为立式炉使用(点击图片查看详细资料)

1 1 1
功率 3KW
电压 220VAC 50/60Hz
最高工作温度 1000℃(<1小时)
连续工作温度 900℃
最大加热速率 20℃/min
加热区

● 加热区长度:300mm

● 恒温区长度:

● 100 mm (+/-1ºC )

● 140 mm (+/-2ºC )

1
温控系统

● 采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序

● 带有超温和断偶保护

● 可选购MTS02-B控温模块,可用电脑设置和显示温度程序

1 1 1
欧陆仪表(可选)

可选购欧陆3504温控仪表,可与LABVIEW软件比配

1
控温精度 +/- 1°C
炉管

● 石英管,尺寸:130mm O.D x 120mm I.D x 640mmL

● 配有2个氧化铝管堵,使用设备时应放在炉管两端,保证恒温区和法兰密封性

● 可选购石英管堵,提高炉管内的洁净度和帮助获得高真空

1 1 1 1 1
真空密封法兰

● 配有一对不锈钢密封法兰,采用硅胶密封圈密封

● 右端法兰为KF25接口,用于连接真空泵

● 左端法兰上安装有机械压力表,接口为1/4英寸卡套接头,用于连接气瓶

● 真空度:10-2torr (采用机械泵)

● 可选:5英寸的水冷铰链法兰,并带有支撑架

● 水冷法兰通入冷却水后,设备最高温度可以达到1100℃(<1小时)

1 1
真空压力表

● 安装有一机械压力表,测量范围为-0.1~0.15MPa

● 可选购数显防腐真空计当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类不同而进行系数转换,测量范围为3.8x10-5 -1125 Torr

1 1
铠装热电偶(可选)

● 可选购铠装K型热电偶,通过法兰的铠装孔伸入到炉管内部,测量样品的实际温度

● 可选购一个法兰支撑架,防止炉管转动

1 1 1 1 1
净重 48 Kg
质保期 一年质保期,终生维护(不包含炉管,密封圈和加热元件)
质量认证

认证

所有电器元件(>24V)都通过 UL / MET / CSA 认证

若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

1 1 1 1 1
应用注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa

由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

石英管的长时间使用温度<1100℃

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等),仅供参考。可能由于更新不及时,或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异,请与本公司客服人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知。
相关产品