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  • 商品名称: GSL-1700X-SPC-2 小型程序控温蒸发镀膜仪
  • 商品编号: GSL-1700X-SPC-2
  • 上架时间: 2015-12-25
  • 浏览次数: 272

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        GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪可设定程序,并精确控制温度200ºC-1500ºC(或者1200ºC-1700ºC),最大可蒸镀直径2"的薄膜样品,样品台可旋转,以获得更均匀的薄膜。可制备各种金属薄膜和有机物薄膜,广泛用于电极的制备和有机物发光LED。

功能特点
  • 已通过CE认证。
  • 采用石英腔体,易于清洁和样品的放入。
  • 样品台可旋转,能够使所制薄膜达到更好的均匀性。
  • 采用钨丝作为发热源,最高温度可达到1700℃,并配有专用的氧化铝舟装载样品(仅1600ºC以下使用,若蒸发温度大于1600ºC,样品应直接放在钨丝篮中)。
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  • 热电偶安装在坩埚底部,以便于温度测量和控制。
  • 可将设备转换到手动调节状态,内部不安装热电偶,直接采用手动调节输出电流大小,发热源温度可达2000ºC,可达到对样品镀碳等实验要求。
  • 可向真空腔体中通入惰性气体,对腔体进行清洗,也可通入反应气体,进行反应蒸发镀膜。
  • 进气口配有针阀,用于调节进气流量。
技术参数
电压 AC 208V-220V 50Hz/60Hz 单相
最大功率 500W,最大电流为30A
真空腔体 石英腔体,直径Ø6"
样品台 直径Ø50mm;可旋转,转速5rpm;与蒸发源间距可调,调节范围60mm-100mm
最高温度 1700ºC
热电偶 S型热偶,工作温度200ºC-1500ºC(可选用B型热偶,工作温度1200ºC-1700ºC)
控温精度 ±1ºC,数显温度控制器,可设置30段升降温程序
钨丝篮 2个
真空接口 KF40
真空计 数显防腐真空计PCG554,测量范围3.8×10-5-1125torr
进气接口 1/4NPS
尺寸

440mm×330mm×630mm

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可选配件

1、机械泵(带油污过滤器)(真空度<10-2torr,可以蒸发贵金属,如Au、Ag)

2、分子泵(可获得高真空,真空度<10-5torr,蒸发易氧化材料,如Al、Mg、Li等)

3、低真空系统

4、高真空系统

5、等离子清洗机(镀膜前对基片进行清洗,可获得更好的薄膜强度)

 

GSL-1700X-SPC-2 小型程序控温蒸发镀膜仪操作视频

 

 

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