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  • 商品名称: OTF-1200X-4-RTP-小型1000℃RTP炉
  • 商品编号: OTF--1200X-4-RTP
  • 上架时间: 2014-07-31
  • 浏览次数: 212

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      OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4" 石英管和真空法兰, 它是专为半导体或太阳能电池基片(最大达3“)的退火而设计,采用10KW红外灯管加热最快升温速度为 50°C/秒. 30 段温度控制,精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。(与此设备有关的论文链接,可点击查看)

技术参数
炉体结构

● 双层莫来石钢构(不带水冷或风冷)

内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命

加热元件

● 8 根红外灯管 (D=10 L=300 T =200, mm)(点击图片查看详情)

1
加热区 12" length with 4"X12”恒温区( +/-5ºC )
石英管和样品架

● 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length

● 3" 的样品架固定在滑动法兰上,石英材料

● 一片3" AlN 片放在样品架上用来放置需要退火的样品

● AlN 具有很高的热导率,所以在样品放置的区域有很好的温度均匀性+\- 5°C

真空法兰

● 带KF-D25 高真空法兰由不锈钢制作,两个高温“O”型圈密封

● 滑动法兰使装载样品很容易. 3" 样品架和内插式热偶保证了温度的准确

水冷

如果要求通冷却水

● 请确定冷却水流速 ≥ 3L/min, 水温 < 20ºC; 水压 > 25 PSI

● 我们建议采用 循环水制冷器作为冷却系统(为了节约用水)

● 警告: 这款 RTP 炉在1000ºC ~ 1100ºC下保温时间不超过 600 秒,否则“ O”圈将被烧融

1
流量计 范围: 16 - 160 ml/min
真空表

● 标配:数字真空表,测量范围:10mtorr~800 torr 。注意:此表是在氮气下校准的,只有在氮气和空气下表上显示的是实际压力,当通入任何其他气体时,必须参考说明书中的相对气体对照表,否则后果会很严重。

● 可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片了解详细参数)

1
真空度

● 用机械泵真空度达 50 mtorr

● 用分子泵真空度可达 10-4 torr

温度控制 PID 自动控制, 可控硅 SCR
热偶 进口K 型热偶, 紧贴在放样品的AlN片下
温控仪

● PID 自动控制,30段程序带过热和断偶保护

● 热偶: 进口K type

● 自整定功能

● 控温精度: +/- 1°C

● RS485 串口和温控软件(模块和数据线需要另购)

温控操作视频:点击查看

最快升温速度 室温~800℃: 50 oC/sec ,800℃~1000℃: 10oC/sec
最新升温曲线 直接升温到1000℃分阶段升温数据 请点击查看
最快降温速度

● 60ºC/min (在 200 mtorr下), 117ºC/min (在一个大气压下)

● 选择: 为得到较快的降温速度 < 10°C/秒, 你可以选择带滑轨的 RTP 炉,如下图:

1
温度 最高1100ºC ,额定1000°C
电源 208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 最大功率9KW (> 60A 保险)
注意

此炉可以增加镀SiC的石墨坩埚改造成RTE(快速热蒸发)炉(可查看下方的图片自己制备RTE)

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尺寸

760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H)

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重量 45 kg (100 lbs)
保修期 电器部分一年质保期 (耗材:如炉管,“O”型圈和加热灯管等不在保修范围内)
认证

● CE 认证

● 所有电器元件(>24V)都通过 UL / MET / CSA 认证

● 若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国 TUV 认证或 CAS 认证

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国家专利

专利名称:一种快速高温退火炉

专利编号:ZL-2011-2-0077168.4

尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究

注意事项

①炉管内气压不可高于 0.02MPa

②由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为 0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

③当炉体温度高于 1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

④进入炉管的气体流量需小于 200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

⑤石英管的长时间使用温度<1100℃

⑥对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于 0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

标准装箱单
商品编码 名称 数量 图片
EQ-CVM-211 数字真空计: 10-4 Torr 1 1
RT36-00 63A保险 2 1
RT14-20 4A保险 2 1
RTP-ACC-01 石英样品架 1 1
AIN-Holder 样品架上的AlN基片 1 1
KSL7-05 高温手套, 耐 900 oC 1 pair 1
EQ-QZTube-RTP 石英管: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length 1 1
RTP-ACC-02 石英挡板 4pcs 1
  聚氨酯水管 O.D. 12mm I.D. 8mm 1 1
  高温硅胶圈(6 个) 9 1
EQ-RTP-Halogen-light 红外灯管 8 1
  水管接头 2 1
  一对真空法兰 1  
EQ-KF-Clamp-D25 KF-D25 快接 2 1
高真空选配清单
了获得较高的真空,我们建议使用 KF25 适配器和不锈钢真空管 (达50 mtorr)
名称 数量 图片
真空泵, 两级旋片Two Ste高速真空泵和两级排气系统和KF-D25 适配器(110V or 220V) 1 1
配KF-D25口的波纹管 (1m) 1 1
KF-D25 真空快接 1 1

RTP快速加热

 

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