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  • 商品名称: 微型PECVD系统
  • 商品编号: PECVD
  • 上架时间: 2015-11-02
  • 浏览次数: 171

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       这款小型PECVD,其腔体为 3" dia x 16" L的石英腔体,而且加热圈在石英腔体内部对样品进行加热,此系统配有2通道混气系统和双旋机械泵。整套仪器都按放在一个移动架上,以便于实验操作。等离子腔体内部的最高温度可以达到400℃,采用程序化控温。此款小型廉价的PECVD系统对于薄膜生长和纳米线的制作是一款很好的选择。

技术参数
等离子源

● 等离子体射频电源:110V 或220VAC, 50/60 Hz, < 100W

● 输出频率: 13.56 MHz

● 三档射频功率大小: 7.2W. 10.5W 和 18W (可调节)

● 腔体尺寸:3"OD x 2.7"ID x 16" L

● 仪器中带有一套不锈钢密封法兰使得腔体内部的真空度为10^-2 torr(用机械泵)

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滑动法兰

● 有一滑轨法兰安装于移动架上,以便于样品的放入和取出

● 样品可以放入加热线圈内,以达到更好的加热效率和温度的均匀性

加热圈和温控系统

● 加热圈尺寸:50mm OD x 40mm ID x 70mm,可使样品达到的温度为400℃

● 加热圈上套有一2" ID x 75mm L的石英罩,以减小热量损失

● 温控方面:采用PID方式调节温度,同时可设置30段升降温程序,控温精度为: +/-1ºC

● 输入电源: AC 220V, 最大功率:500W

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      Coil heater     Quartz protective tube    Temp. Controller      Heating coil         Alumina boat
两通道混气系统

● 混气箱上安装有两个浮子流量计,其量程为10-100SCCM

● 三个机械压力表:-0.1-0.15 MPa

● 混气箱上安装有304不锈钢针阀

● 配有三根1/4"的聚四氟乙烯管

● 混气箱尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm( 13.4"x12"x7")

● 净重: 14 lbs

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真空和气体接口

标准的真空配置有

● 一套3"的不锈钢法兰(上面安装有KF-25的真空泵接口,一个1/4"卡套接头和不锈钢针阀)

● 一根KF25的波纹管(长度为1m)和三KF25卡箍

● 一个数字式真空显示计

● 等离子腔体中可以通入多种惰性性气体,如N2, Ar, Air ,以及各种混合性气体

● 可以调整腔体内的压力或是进气流量,确保等离子体达到样品处

(注意:不可通入易燃易爆性气体)

真空泵

● 仪器中配有一双旋机械真空泵,其抽气速率为120L/min

● 进气口为KF25接口,可以使腔体内真空度小于30mTorr

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移动架

设备中配有一 600L x 600W x 600H(mm)的移动架,整个CVD系统可以安置于其上面

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仪器尺寸

● 等离子源: 8.5" H x 10" W x 8" D

● 温控盒: 4"H x 10"W x 8"D

● 移动架:600 x 600 x 600mm

重量 70 lb (包含真空泵)
质保期 一年质保期(不包含石英管和密封圈)
质量认证 CE 认证

 

微型PECVD系统

 

关键词: 微型PECVD系统

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