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  • 商品名称: OTF-1200X-50S-PE 小型PECVD管式炉系统
  • 商品编号: OTF-1200X-50S-PE
  • 上架时间: 2015-11-02
  • 浏览次数: 86

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      OTF-1200X-50S-PE是一款小型的PE-CVD(等离子体气相沉积)管式炉系统。此套设备带有500W的等离子射频电源,一个炉管直径为50mm的开启式管式炉(带有真空法兰和连接管道)和一个直联式双旋机械泵。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索,此套系统极为理想。

技术参数
特征

● 与普通CVD相比可以在低温环境下进行气相沉积实验

● 对于薄膜的应力可以通过射频电源的频率来进行控制

● 通过工艺调节来控制化学计量

● 能够广泛地用于各种材料沉积,如SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等.

开启式管式炉

● 输入电源:208 – 240V AC, 1.2kW

● 最高工作温度1200℃(小于1小时)

● 连续使用温度1100℃

采用高纯氧化铝作为炉膛材料,并且表面涂有美国进口高温氧化铝涂层,可延长仪器使用寿命和提高加热效率

● 高纯石英炉管,尺寸为 50mmOD x 44mmID x 780mmL

● 可设置30段升降温程序,并带有过热和断偶保护

● 加热区长度为200mm,恒温区长度为60mm(+/-1°C) 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系

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等离子体射频电源

● 输出功率: 5 -500W可调

● 稳定性为+/-1%

● 射频电源频率13.56 MHZ, 稳定性±0.005%

● 最大反向功率: 200W max

● 射频电源电子输出口: 50 Ω, N型半岛体, 阴极

● 噪音:<50 dB.

● 冷却方式:空气冷却

● 输入电源: 208-240VAC, 50/60Hz

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真空法兰和接头

● 真空法兰采用304不锈钢制作

● 左端法兰上安装有防腐型数字真空计、不锈钢针阀和一个球阀

● 右端法兰设计为KF25接口,上面配有泄气阀,挡板阀和两个KF25卡箍

● 仪器中所配的数字真空计,可以不用因使用气体的不同而进行校正,同时还具有防腐功能(请点击图片查看详细介绍)

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真空泵

● AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W

● 2L/s

● 与本公司管式炉配套使用,可使其真空度达到10-2 torr

● 进气端带有储气球(防止回油),出气端安装有油雾过滤器(防止油雾扩散到空气中,保护环境和人体健康)

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产品尺寸和重量

● 外形尺寸:1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H)

● 净重: 160 lbs

可选配置

请点击查看下面的混气及气液混合系统

● 防腐型小型三路浮子混气系统

● 精密气液混合系统

● 三路质子混气系统

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开门断电

为保证使用安全,该电炉为开门断电设计

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质保期 一年质保期,终身维护(不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件)
质量认证 CE Certified
使用注意事项:

炉管内气压不可高于0.02MPa

由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

石英管的长时间使用温度<1100℃

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

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